小型超純水設備典型工藝流程解析
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- 發(fā)布日期：2017-12-30
小型超純水設備的應用使反滲透超純水設備
從傳統(tǒng)的陽離子交換器、脫碳、陰離子交換器、復合離子交換器得到了一次進步。近年來開始在國外推廣應用的EDI(電去離子)技術，則是超純水制造技術的一
次革命，從此進入了一個無需再生化學品，而能生產出高達18MΩ?CM的超純水，用于半導體、集成電路等行業(yè)。國家經委也已將RO + EDI
成套技術的應用列入國家重點推廣范圍，對使用的企業(yè)給以政策上的優(yōu)惠.
小型超純水設備典型工藝流程為：
1: 預處理-反滲透-純化水箱-離子交換器-紫外燈-純水泵-用水點
2: 預處理-一級反滲透-二級反滲透(正電荷反滲膜)-純化水箱-純水泵-紫外燈-用水點
3: 預處理-反滲透-中間水箱-中間水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外燈-用水點
4: 預處理→紫外線殺菌裝置→一級RO裝置→二級RO裝置→中間水箱→EDI裝置→脫氧裝置→氮封純水箱→除TOC UV裝置→拋光混床→超濾裝置→用水點
水質符合美國ASTM標準，電子部超純水水質標準(18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級)
小型超純水設備設計原則：
品質---依照客戶生產所需超純水的水質要求及生產特點，并考慮水源的水質(需客戶提供水質分析報告或源水樣品)。
可擴充性—系統(tǒng)分段設計規(guī)劃，考慮就近用水和生產安全需要，可依照生產線需求隨時擴充產能，客戶可分階段投資。
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